カスタマイズされた化学気相堆積の炉、ガスの真空の誘導加熱
適用:
それはカーボン ガスが付いている複合材料の化学気相堆積にCVDおよびCVIのようなカーボン源としてC/Cの複合材料およびSiCの複合材料の処置(C3H8、等のような)、使用することができる。
特徴:
先回り制御の技術を使用して、それは正確にガスの流れそして圧力を制御できる炉の沈殿ガスの流れは安定して、圧力変動範囲は小さい;
特別な構造の沈殿部屋によいがあり効果および強い公害防止の能力を密封する;
多重チャンネルの沈殿ガス道は採用される、フロー フィールドは均一である、沈殿死んだ角度は形作られないし、沈殿効果はよい;
非常に腐食性の尾ガス、沈殿によって作り出される可燃性および爆発性のガス、固体塵および低い融点粘性プロダクトは効果的に扱うことができる;
最も最近の設計anti-corrosion真空の単位に長い作業時間および低い維持率がある。
沈殿炉の主要な構成
炉のドア:ねじ上昇//油圧上昇/;手動ロック/自動ロック リング ロック
炉の貝:完全な炭素鋼/内部の層のステンレス鋼/すべてのステンレス鋼
炉:柔らかいカーボンは/柔らかいグラファイトの感じられた感じたり/堅い合成のフェルト
ヒーター:地殻均衡グラファイトは/3つの高いグラファイト/良いグラファイトを形成した
プロセス ガス システム:容積/マス フローのメートル;手動弁/自動弁;輸入される/国内
真空ポンプおよび真空ゲージ---輸入/国内
人間-機械インタフェース:タッチ画面/産業コンピュータ
電装品:Chint/シュナイダー/Siemens
容積(l) | 35 | 226 | 602 | 1177 | 1899 |
最高温度(°C) | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
作業域のサイズDの× H (mm) | Φ300×500 | Φ600×800 | Φ800×1200 | Φ1000×1500 | Φ1100×2000 |
温度調整方法 | 日本島の電気温度調節器 | ||||
加熱法 | 抵抗加熱 | ||||
真空システム | よごれ止めポンプかスプール ポンプ+根はポンプでくむ | ||||
焼結の大気 | 炭化水素のガス、等。 | ||||
評価される電源電圧(v) | 380 | ||||
評価される熱する電圧(v) | 設計に従って、炉の変圧器を形成しなさい | ||||
真空の限界(Pa) | 6X10ˉ2 (真空の冷たい状態) |